웨이퍼의 온도를 정확하게 파악하기 스마트 팹을 구축하려면 가장 먼저 해야 할 일은 수동 샘플링을 없애는 것입니다. 수동 샘플링은 느리고 번거롭으며, 솔직히 말해서 구식 방법입니다. 10분 전의 데이터가 아닌, 실시간 데이터가 필요합니다. 바로 이때 IR 센서가 유용해...

IR 가열 장치를 항상 깨끗하게 유지하는 방법 만약 클래스 100급 청정실을 운영하고 있다면, 아시다시피 작은 먼지 한 점만으로도 웨이퍼 전체가 망가질 수 있습니다. 정말 스트레스가 큽니다. 대부분의 IR 램프는 종이상으로는 문제없어 보이지만, 고온에 노출되면 곧 고...

서문 저희가 제공하는 벽부형 차고 히터는 적외선 램프 기술을 기반으로 만들어졌습니다. 솔직히 말해서, 이 기술의 원리는 꽤 간단합니다. 필요한 곳에 빠르게 열을 공급하는 것이죠. 예를 들어, 추운 탈의실에 있다고 상상해 보세요. 방 전체의 공기가 따뜻해질 때까지 기다...