Menghentikan kebocoran haba semasa proses pengeringan wafer
Ketika mengeringkan wafer di fasiliti pengeluaran, perlu ada keseimbangan yang tepat. Anda perlu membuang kelembapan dari permukaan wafer dengan cepat, tetapi jika suhu yang digunakan terlalu tinggi, ia boleh merosakkan wafer tersebut.
Kebanyakan orang menggunakan alat pelepas haba jenis inframerah untuk tujuan ini. Namun, masalahnya ialah lampu kuarsa biasa sangat membazir tenaga. Sebahagian besar haba yang dihasilkan akan tersebar ke arah yang tidak ditentukan, sehingga hanya menyerang dinding mesin dan bukannya wafer itu sendiri. Ia sama seperti cuba memanaskan sebuah bilik dengan tingkap yang terbuka.
Penyelesaiannya ialah penggunaan reflektor yang dilapisi emas.
Kami menggunakan emas berkualiti tinggi pada bahagian reflektor tersebut. Emas lebih efektif dalam memantulkan cahaya inframerah berbanding aluminium atau keluli yang telah diproses. Emas mampu menangkap lebih banyak sinar inframerah dan mengarahkannya kembali ke sasaran yang diinginkan.
Dengan cara ini, tenaga yang dihasilkan dapat difokuskan dengan baik. Anda akan mendapat aliran haba yang lebih efektif. Yang paling baik ialah anda boleh mencapai suhu yang diinginkan menggunakan jumlah tenaga yang lebih sedikit.
Namun, anda tidak boleh sekadar meningkatkan intensiti haba tanpa memikirkan akibatnya. Apabila tenaga difokuskan dengan begitu kuat, kepadatan haba di titik fokus akan menjadi sangat tinggi. Jika sistem dikonfigurasikan untuk intensiti maksimum, kelajuan pengeringan wafer juga perlu ditingkatkan. Jika konveyor terhenti sebentar saja, ia boleh menyebabkan wafer menjadi terlalu panas.
Kami juga menghabiskan banyak masa untuk menyesuaikan kelengkungan reflektor tersebut. Kami ingin menghilangkan “zona mati” di mana haba tidak sampai ke sana. Jika kelengkungan reflektor sesuai, tenaga akan tersebar secara merata, sehingga permukaan wafer akan kering dengan cepat. Tiada lagi kawasan yang sejuk, dan tiada lagi keraguan.
Selain itu, kos elektrik juga perlu dipertimbangkan. Dalam penilaian penggunaan tenaga, satu-satunya angka yang penting ialah “tenaga yang digunakan secara efektif”. Sebuah lampu mungkin menggunakan 2kW tenaga, tetapi jika tidak ada reflektor yang efektif, mungkin hanya 40% daripada tenaga tersebut yang benar-benar digunakan untuk proses pengeringan.
Dengan menggunakan lapisan emas, kadar penggunaan tenaga akan meningkat. Anda akan menggunakan lebih sedikit kilowatt-jam untuk setiap wafer, sehingga penggunaan tenaga secara keseluruhan akan berkurangan. Ini merupakan cara yang mudah untuk menjadikan proses pengeringan lebih efisien.