Memahami Suhu Dengan Lebih Baik dalam Proses Pembuatan Wafer
Jika anda ingin beralih ke fasiliti pembuatan wafer yang lebih canggih, perkara pertama yang perlu dihapuskan ialah kaedah pengambilan sampel secara manual. Kaedah ini lambat, memakan masa, dan sebenarnya sudah ketinggalan zaman. Anda memerlukan aliran data secara langsung, bukan hanya data dari sepuluh minit yang lalu.
Di sinilah peranan sensor IR. Ia membolehkan kita mengesan corak suhu tanpa perlu menyentuh wafer tersebut. Tiada sentuhan bermakna tiada risiko kontaminasi atau tekanan mekanikal. Cara ini jauh lebih bersih.
Bagaimana Data Digunakan
Dalam proses pembuatan wafer, jika suhu tidak seragam, ia akan menimbulkan masalah. Kami menggunakan sensor IR berresolusi tinggi untuk memantau bagaimana haba tersebar di permukaan wafer. Sensor ini akan mengubah radiasi inframerah menjadi peta digital. Oleh kerana ia disambungkan terus ke sistem PLC atau SCADA, anda akan mendapat maklumat suhu secara langsung, tanpa sebarang kelewatan. Segera. Secara masa nyata.
Menggunakannya dalam Dunia Sebenar
Apabila sensor ini disambungkan ke sistem digital, kerja spekulasi dapat dielakkan. Sistem ini direka untuk bertahan dalam keadaan ekstrem di dalam furnace CVD atau annealing—di mana tekanan vakum sangat tinggi dan suhu sangat panas.
Yang terbaiknya? Anda boleh menyesuaikan elemen pemanasan pada bila-bila masa. Jika suhu di sesuatu kawasan menjadi terlalu tinggi, sistem akan mengurangkan kuasa pemanasan tersebut. Sangat mudah. Ini merupakan cara untuk mengelakkan pembaziran wafer dan menurunkan kadar sisa yang dihasilkan.
Cabaran yang Perlu Dihadapi
Perlu diingat bahawa sensor IR bukanlah alat yang boleh digunakan tanpa sebarang penyesuaian. Prestasi sensor bergantung pada emisiviti bahan yang digunakan. Jika bahan yang digunakan ditukar daripada silikon kepada galium nitrida, pengkalibrasian semula diperlukan. Jika tidak, data yang diperoleh akan salah.
Selain itu, perlu juga memerhatikan keadaan lensa sensor. Produk sampingan proses pembuatan wafer boleh menumpuk pada lensa, sehingga menghalang isyarat yang diterima dan menyebabkan suhu yang terbaca lebih rendah daripada sebenarnya. Pastikan penyelenggaraan dilakukan dengan baik. Jika tidak, data yang diperoleh akan tidak tepat, dan anda perlu bergantung pada tekaan semula.