Op de productielijn leert men snel: zelfs een kleine temperatuurverandering van 0,3°C kan ertoe leiden dat de vereiste expositietijd verandert. Een te hoge temperatuur aan de randen van de wafer zorgt er weer voor dat je opnieuw moet proberen om de gewenste kwaliteit te bereiken. Wafers zijn gevoelig voor temperaturen die niet uniform zijn.
Wat technisch gezien belangrijk is:
We hebben de verwarmingselementen van de NIR-oven gebouwd rondom kortegolflengte-infrarode halogeenemitters in een kwartsconstructie. Het doel is om een uniforme temperatuur over het oppervlak van de wafer te behouden, zodat deze consistent blijft. De thermische profilering wordt nauwkeurig gecontroleerd: tot op ±0,1°C. Hierdoor blijft de energieverbruik onder controle en kun je geen schade toebrengen aan de fotoresistentlaag op de wafer. Materialen die geschikt zijn voor schone ruimtes en een ontwerp dat zorgt voor minimale vuilstoffen, voorkomen dat er vuil op de wafer terechtkomt of in de oven.
Waarom dit werkt:
Tijdens de lithografische processen zorgt deze precisie ervoor dat de oplosmiddelen consequent worden afgevoerd en dat de polymeren zich op dezelfde manier gedragen. Hierdoor kan de controle over de belangrijkste dimensies van de wafer beter worden behouden. Er wordt minder herwerking nodig na het inspectieproces, en de lijndikte kan nauwkeuriger worden voorspeld naarmate de expositiedosis verandert.
Het systeem werkt 24/7 met stabiele prestaties. Sommige apparaten hebben al meer dan 5.000 uur lang gefunctioneerd zonder dat de prestaties verslechterden. Het energieverbruik wordt gemeten en gereguleerd, zodat er geen sprake is van ongewenste variaties.
Belangrijke punten:
De positie van de verwarmingselementen is belangrijk; ze moeten op een plek staan waar de isoterm gelijk is aan het oppervlak van de wafer. Na installatie is er eerst een korte inrichtingsperiode nodig om de emitters op de juiste plek te krijgen en de kalibratiecurve vast te stellen.
Compatibiliteit met schone ruimtes van klasse 1–100 is standaard. Controleer echter zeker hoe de luchtstroom wordt gereguleerd en waar de lucht wordt afgevoerd. Dit voorkomt dat er vuilstoffen op de verkeerde plekken terechtkomen.