Op de productielijn is temperatuur geen simpel instelbaar criterium – het is eerder een grenswaarde. Een verschil van een halve graad tijdens het zacht bakken van het fotorezistent maakt dat de vereiste dimensies niet meer worden nageleefd, waardoor veel producten verspild gaan. Daarom hebben we onze infrarode verwarmingsmodules ontworpen zodat ze voldoen aan de eisen die worden gesteld aan de thermische controle en verwerking van fotorezistent: reproduceerbare warmte, zonder ruimte voor compromissen.
Wat technisch gezien belangrijk is
We gebruiken kortegolf-infrarode stralers met een snelle respons en nauwkeurige spectrale controle. Hierdoor wordt de chip rechtstreeks verwarmd. Het voordeel is dat er minder thermische vertragingen zijn en dat de invloed van de behuizing minimaal is. De uniformiteit van de temperatuur op het chipniveau blijft binnen ±0,1°C gedurende het hele proces. Hierdoor blijft de stroming van het fotorezistent en de verwijdering van oplosmiddelen stabiel. Het harde bakken zorgt voor consistente kruisverbindingen tussen de moleculen in het fotorezistent.
De compatibiliteit met schone ruimten van klasse 1–100 is al in het ontwerp opgenomen: materialen met lage uitstoot, afgesloten optica en geen vorming van deeltjes. Het systeem behoudt zijn thermische stabiliteit onder continue gebruik, zodat het 24/7 kan werken, met onderhoudsintervallen die gemakkelijk kunnen worden gepland.
Waarom het werkt in de productie
Het systeem past zich gemakkelijk aan op verschillende stappen in het proces, zoals het drogen van chips, het voorbakken van fotorezistent en het bakken na belichting. De hoge repetitierendement van de temperatuur zorgt voor minder variatie in de dimensies van de chips en daarmee een hogere opbrengst. Snelle aanpassingen van de temperatuur verminderen de tijd die nodig is voor het proces en de energieverbruik per chip. Bovendien zorgt het constante thermische profiel voor minder oppervlaktefouten, waardoor er minder herwerkzaamheden nodig zijn.
Het resultaat is minder variatie in de temperatuur, consistente eigenschappen van het fotorezistent en een proces dat zich elke keer op dezelfde manier gedraagt.
Wat u moet onthouden
Infraroodverwarming werkt alleen wanneer er een zichtlijn is tussen de straler en de chip. De geometrie van de chip en het type drager hebben dus invloed op de lokale temperatuurdistributie. Wij leveren een gevalideerd systeem dat bestaat uit een goede plaatsing van de stralers, reflectoren en sensoren. Hierdoor kunt u de gewenste temperatuur bereiken, ongeacht of het om kale siliciumchips, gemotiveerde chips of complexere constructies gaat.
Er zal waarschijnlijk een testperiode nodig zijn om de instellingen aan te passen aan uw specifieke fotorezistent en chipstructuur. Omdat de uitgangssterkte en de afmetingen van het systeem moeten overeenkomen met de vereisten van de machine, is het belangrijk om de mechanische en elektrische beperkingen van tevoren te controleren.