Jak skutecznie kontrolować temperaturę w fabryce chipów
Jeśli chcesz przechodzić na bardziej inteligentne metody produkcji, pierwszą rzeczą, którą należy usunąć, jest ręczne pobieranie danych. To powolne, żmudne i, szczerze mówiąc, przestarzałe rozwiązanie. Potrzebujesz ciągłego przepływu danych, a nie tylko informacji z dziesięciu minut temu.
W tym momencie przychodzą na pomoc czujniki IR. Pozwalają one na monitorowanie rozkładu temperatur bez konieczności dotykania płytki krzemowej. Brak kontaktu oznacza brak kontaminacji i brak obciążeń mechanicznych. To prostsze rozwiązanie.
Jak faktycznie funkcjonują te czujniki
W fabryce chipów, jeśli temperatura nie jest jednolita, masz problemy. Używamy czujników IR o wysokiej rozdzielczości, aby móc śledzić, jak temperatura rozprzestrzenia się po powierzchni płytki krzemowej.
Czujniki rejestrują promieniowanie podczerwone i zamieniają je na cyfrową mapę. Ponieważ są podłączone bezpośrednio do systemu PLC lub SCADA, nie musisz czekać na opóźnione wyniki. Otrzymujesz aktualną mapę temperatur – w czasie rzeczywistym.
Jak to sprawdzić w praktyce
Gdy te czujniki są podłączone do systemu cyfrowego, nie ma już potrzeby domysławów. Budujemy takie systemy, aby mogły funkcjonować w brutalnych warunkach panujących w piecach do procesów CVD lub odżarzania – mowa tu o bardzo niskim ciśnieniu i ekstremalnie wysokich temperaturach.
Najlepsze jest to, że możesz szybko dostosować elementy grzewcze. Jeśli jedna z stref zaczyna być zbyt gorąca, system automatycznie obniża temperaturę w tej strefie. Proste. W ten sposób unikasz marnowania płytek krzemowych i zmniejszasz ilość odpadów.
Ale jest jeden haczyk…
To nie są narzędzia typu „ustaw i zapomnij”. Funkcjonalność czujników IR zależy od emisji ciepła. Jeśli zmienisz materiał z krzemu na azotek galu, musisz ponownie skalibrować czujniki. W przeciwnym razie dane będą błędne. Koniec.
Pamiętaj też o oknie czujnika. Produkty uboczne procesu produkcyjnego często gromadzą się na soczewce, co blokuje sygnał i sprawia, że temperatura wygląda niższa, niż jest w rzeczywistości. Bądź uważny na konserwację. Jeśli tego nie zrobisz, dane będą błędne, a ty znów będziesz musiał polegać na domysłach.