W warunkach produkcji szybko się uczy się, jak zachować odpowiednią precyzję: nawet niewielka zmiana temperatury o 0,3°C może wpłynąć na efektywność procesu. Zbyt wysoka temperatura na krawędziach płytek sprawia, że trzeba ponownie dostosować parametry procesu. Płytki nie wybaczają braków jednolitości termicznej.
Co jest istotne z technicznego punktu widzenia? Elektrony grzewcze w piecu NIR zostały zaprojektowane tak, aby korzystać z krótkofalowych emiterów promieniowania podczerwonego umieszczonych w strukturze kwarcowej. Celem jest uzyskanie jednolitości temperatury na całej powierzchni płytki, a także stabilnych wartości parametrów procesu podczas kolejnych cykli obróbki. Precyzja kontrolowania temperatury wynosi ±0,1°C, a temperatura szybko się ustala, dzięki czemu unika się nadmiernego zużycia energii podczas obróbki zaawansowanych materiałów fotochemicznych. Materiały użyte do budowy pieca są przydatne w środowiskach o wysokim poziomie czystości, a ich konstrukcja minimalizuje ilość cząstek, które mogłyby zakazić płytki i wnętrze pieca.
Dlaczego to działa? W procesach litografii ta precyzja sprawia, że rozpuszczalniki są usuwane w jednakowy sposób, a polimer przepływa tak samo za każdym razem. Dzięki temu można lepiej kontrolować wymiary płytek, zmniejsza się liczba koniecznych korekt po procesie obróbki, a również można przewidzieć zachowanie szerokości linii na płytkach w zależności od dawki światła użytej do obróbki.
System pracuje 24/7 z stabilną wydajnością. Posiadamy urządzenia, które funkcjonują już ponad 5 000 godzin, zachowując przy tym stabilną wydajność. Zużycie energii jest monitorowane i kontrolowane, więc nie musimy polegać na domysłach.
Co należy wiedzieć? Montaż elementów grzewczych zależy od geometrii komory pieca oraz układu przepływu powietrza – elementy te muszą być umieszczone w miejscach, gdzie temperatura odpowiada powierzchni płytki. Po instalacji konieczny jest krótki okres adaptacji, aby emiterzy mogły pracować prawidłowo, a krzywa kalibracji została ustalona. Kompatybilność z pomieszczeniami o poziomie czystości od klasy 1 do 100 jest standardem, ale należy sprawdzić układ odprowadzania gazów oraz lokalne systemy odsysania powietrza w miejscu połączenia urządzenia z otoczeniem. To zapobiega ponownemu osadzaniu się gazów w miejscach, gdzie tego nie chcemy.