Como evitar a perda de calor durante o secamento das wafers
Quando seca as wafers em uma fábrica, é preciso encontrar um equilíbrio delicado: é necessário remover a umidade da superfície das wafers rapidamente, mas se o calor for excessivo, há risco de danificar as wafers.
A maioria de nós utiliza emissores de infravermelho para isso. Mas aqui está o problema: uma lâmpada de quartzo comum é bastante ineficiente. Grande parte do calor emitido vai para direções aleatórias, atingindo as paredes da máquina em vez das wafers. É como tentar aquecer um ambiente com a janela aberta.
É aí que entra o refletor revestido de ouro.
Usamos ouro de alta pureza no revestimento do refletor, porque, francamente, o ouro é muito melhor em refletir luzes infravermelhas do que o alumínio ou o aço polido. Ele capta mais desses raios de onda longa e curta e os direciona de volta para o alvo desejado.
Em vez de deixar toda essa energia se perder no chassi da máquina, a camada de ouro concentra-a. Assim, obtém-se um fluxo de calor muito maior. E o melhor de tudo? É possível atingir a temperatura desejada com muito menos energia.
Mas não basta simplesmente aumentar a intensidade do calor. Quando a energia é concentrada dessa maneira, a densidade de calor no ponto focado fica intensa. Se o sistema for configurado para máxima intensidade, a velocidade de secagem das wafers precisa acompanhar. Se o transportador parar, mesmo que por um segundo, há risco de superaquecimento.
Também gastamos bastante tempo ajustando a curvatura desses refletores. Queremos eliminar aquelas “zonas mortas” onde o calor não chega. Se a curvatura estiver correta, a energia se distribui uniformemente, fazendo com que as bordas das wafers sequem tão rápido quanto o centro. Sem pontos frios, sem necessidade de suposições.
E ainda há a questão da conta de energia. Ao analisar as auditorias energéticas, o único número importante é a “energia efetiva”. Uma lâmpada pode consumir 2 kW, mas, se não houver um refletor eficaz, talvez apenas 40% dessa energia realmente seja utilizada.
O revestimento de ouro aumenta significativamente a eficiência do sistema. Isso significa que são necessários menos quilowatts-hora para secar cada wafer, o que reduz o consumo de energia total. É uma maneira simples de tornar todo o processo mais eficiente.