Na área de fabricação, o processo de afinamento das bolachas de silício revela a estrutura interna do chip. O controle térmico não é algo que se possa negociar. A integridade do fotolítico, o estresse causado pelo óxido e a deformação do material – tudo isso depende do controle da temperatura. Uma variação de meio grau já pode causar mudanças no estresse do filme, levando à sua descolagem e à perda de todo um lote de 300 mm. Construímos nossa plataforma de aquecimento por infravermelho para manter esse perfil térmico estável, ciclo após ciclo.
O aquecimento por infravermelho acontece através da interação direta com os filmes finos e o substrato. Nossos arranjos de ondas curtas em NIR direcionam a energia exatamente onde ela é necessária, garantindo uma uniformidade de temperatura de ±0,1°C na área ativa. A taxa de aumento de temperatura ultrapassa 10°C/s, o que permite realizar processos de cozimento sem que haja excesso de calor.
A compatibilidade com salas limpas de classe 1–100 está integrada ao design do sistema: materiais com baixa emissão de gases, janelas de quartzo seladas e sistemas de fluxo de ar laminar ajudam a manter o número de partículas sob controle. Não há geração de partículas, pois o sistema monitora continuamente o valor, mantendo-o abaixo de 0,3 partículas/cm².
Com o afinamento das bolachas de silício, o calor é direcionado para o próprio chip, e não para o suporte em que ele se encontra. Isso permite preservar as características do fotolítico, minimizar problemas nas bordas do chip e manter as dimensões críticas dentro dos padrões exigidos. Isso resulta em maior repetibilidade nos valores de espessura, menor quantidade de produtos defeituosos e tempos de cozimento mais previsíveis de lote em lote.
O consumo de energia diminui, pois o aquecedor está diretamente conectado aos filmes – não há aquecimento indesejado dos componentes do sistema. Os módulos funcionam 24/7, sem interrupções, com um tempo de vida útil superior a 10.000 horas.
A instalação é simples, mas a integração com o sistema é essencial. O sistema requer uma linha de controle dedicada de 24 V, ar seco e limpo a 0,4 MPa, além de uma câmara de processamento com janelas de quartzo, adequada ao seu equipamento. A integração leva cerca de dois dias, incluindo a calibração das tabelas de emissividade para cada conjunto de filmes.
É necessário levar em conta a possibilidade de sombreamento térmico nas zonas periféricas. Fornecemos o protocolo de mapeamento para definir condições de limite seguras.