Pare de esperar pelo ciclo de enxaguamento: IR contra ar quente
Se você já passou algum tempo em uma fábrica de semicondutores, sabe que a fase de enxaguamento é geralmente quando tudo fica mais lento. É um verdadeiro gargalo no processo de produção.
Muitas pessoas ainda usam sistemas de aquecimento por ar quente. O problema é que isso é apenas convecção: você aquece o ar, espera que a câmara fique quente e só então aquece o wafer. É um processo lento. Parece que você está apenas perdendo tempo.
Eis o diferencial do aquecimento por infravermelhos (IR):
O aquecimento por IR muda completamente o ritmo do processo. Em vez de aquecer todo o ambiente, as lâmpadas IR emitem radiação eletromagnética diretamente sobre a superfície do wafer. Assim, não há necessidade de esperar que o ambiente fique quente. Para um ciclo de enxaguamento e secagem, isso significa que os wafers passam muito menos tempo parados. Isso permite processar mais produtos por hora, sem precisar de mais espaço físico. É uma grande vantagem para o fluxo de trabalho.
Mas não basta simplesmente colocar uma lâmpada comum em uma área úmida.
Água e circuitos eletrônicos não se misturam bem. Umidade ou gotas d’água podem danificar os componentes eletrônicos ou quebrar o quartzo presente nas lâmpadas. Por isso, usamos lâmpadas com selos à prova d’água e revestimentos resistentes à umidade. Isso permite que a fonte de calor fique exatamente onde é necessário – perto da área de processamento.
Atenção: como essas lâmpadas liberam energia rapidamente, é preciso ter cuidado com os controladores PID. Se não forem configurados corretamente, pode haver superaquecimento e danos aos substratos. É preciso ter precisão ao operá-las.
Como fazer a troca
Para a maioria dos fornos convencionais, a substituição por lâmpadas IR à prova d’água é bastante simples. Você terá um aquecimento mais rápido e ocupará menos espaço.
Dica antes de começar: verifique sua fonte de alimentação. As lâmpadas IR consomem muita energia, o que é diferente dos elementos de aquecimento convencionais. Certifique-se de que sua instalação elétrica suporte essa carga elevada, caso contrário, os disjuntores vão disparar assim que você ligar a lâmpada.