Как эффективно контролировать температуру в производственных помещениях
Если вы хотите создать современное производственное предприятие, первое, что необходимо отказаться использовать – это ручной метод измерения температуры. Этот метод медленный, утомительный и, честно говоря, устарел. Вам нужен непрерывный поток данных, а не информация, полученная десять минут назад.
Вот здесь и пригодясь приходят ИК-датчики. Они позволяют определять распределение тепла по поверхности полупроводниковых пластин без необходимости их физического касания. Отсутствие контакта значит отсутствие загрязнений и механических нагрузок. Это делает процесс более чистым.
Как работают данные
В производстве полупроводников, если температура на поверхности пластины неоднородна, это приводит к проблемам. Мы используем высокоразрешающие ИК-датчики для отслеживания распределения тепла в реальном времени. Датчики захватывают инфракрасное излучение и преобразуют его в цифровую карту. Поскольку они подключены напрямую к системе PLC или SCADA, вы получаете информацию в реальном времени.
Применение в реальных условиях
Когда такие датчики подключаются к цифровой сети, необходимость в приблизительных оценках исчезает. Мы создаем такие системы, способные функционировать в экстремальных условиях в печах для процессов CVD или аннилинга – при высоком вакууме и очень высоких температурах.
Самое лучшее заключается в том, что можно оперативно корректировать параметры нагревательных элементов. Если какая-то зона становится слишком горячей, система автоматически снижает её температуру. Просто. Таким образом можно избежать потери полупроводниковых пластин и снизить количество отходов.
Недостатки (ведь их всегда есть)
Это не те инструменты, которые можно просто настроить и забыть о них. Работа ИК-датчиков зависит от эмиссивности материала. Если вы меняете материал с кремния на нитрид галлия, необходимо перенастроить датчик. В противном случае данные будут неточными.
Также необходимо следить за стеклом датчика. Побочные продукты процесса могут накапливаться на линзе, что препятствует передаче сигнала и делает показания температуры ниже реальных значений. Необходимо регулярно обслуживать датчики. Если этого не делать, данные будут ошибочными, и вам снова придется полагаться на приблизительные оценки.