Почему мы отказываемся от использования горячего воздуха в пользу вакуумных инфракрасных обогревателей в производстве полупроводников
Если вы стремитесь ускорить процесс обработки полупроводников, вам, наверное, уже известно, что ожидание нагрева камеры — это серьезная проблема.
Долгое время мы использовали горячий воздух для нагрева. Но есть одна проблема: необходимо нагреть всю камеру — воздух, стены, все вокруг — прежде чем пластина начнет нагреваться. Этот процесс медленный и неэффективный.
Поэтому мы перешли на использование вакуумных инфракрасных обогревателей. Вместо того чтобы нагревать воздух вокруг платы, инфракрасные лучи направляют энергию прямо на саму плату. Никаких посредников не нужно.
Все дело в времени
У систем с горячим воздухом есть неприятная особенность — задержка нагрева. Потребуется много времени на нагрев, а затем еще больше времени на охлаждение.
С инфракрасными обогревателями такая задержка практически отсутствует. Энергия достигает цели мгновенно. Это позволяет сократить время обработки с минут до секунд. Когда речь идет о производстве в больших объемах, эти секунды приносят значительную экономию времени.
Эффект вакуума
При использовании вакуума правила меняются. Нельзя полагаться на воздух для передачи тепла. Все происходит через излучение и теплопроводность.
Наші инфракрасные лампы рассчитаны на высокую мощность, при этом филаменты не разрушаются. Это позволяет получить точный температурный профиль на плате. Но нужно быть осторожным: если стены камеры не защищены должным образом, или система охлаждения не справляется со своей задачей, отраженное тепло может повредить сенсоры и другие компоненты. Это может стать проблемой, если не учесть это заранее.
Компромиссы
Следует помнить, что нельзя просто заменить вентилятор на лампу и считать, что все готово. Необходимо скорректировать параметры управления. Поскольку инфракрасные лампы реагируют очень быстро, легко превысить желаемую температуру, если контроллер все еще настроен для работы с медленными системами с горячим воздухом.
По сути, мы отказываемся от простоты использования вентиляторов в пользу точности работы ламп. Это требует дополнительных настроек, но скорость обработки того стоит.