การหยุดยั้งการรั่วไหลของความร้อนในกระบวนการอบแห้งเวเฟอร์
เมื่อมีการอบแห้งเวเฟอร์ในโรงงานผลิตชิป ก็จำเป็นต้องมีการปรับสมดุลอย่างระมัดระวัง เพราะจำเป็นต้องขจัดความชื้นออกจากพื้นผิวของเวเฟอร์ให้เร็วที่สุด แต่ถ้าใช้ความร้อนมากเกินไป ก็อาจทำให้เวเฟอร์เสียหายได้
โดยปกติแล้ว เรามักใช้หลอดไฟอินฟราเรดในการอบแห้งเวเฟอร์ แต่ปัญหาก็คือ หลอดไฟควอตซ์ธรรมดานั้นมีประสิทธิภาพต่ำมาก ความร้อนส่วนใหญ่จะแผ่ออกไปในทิศทางต่างๆ แทนที่จะไปที่เวเฟอร์ ซึ่งก็เหมือนกับการพยายามอุ่นห้องที่มีหน้าต่างเปิดอยู่นั่นเอง
นั่นคือเหตุผลที่เราใช้ตัวสะท้อนแสงที่เคลือบด้วยทองคำ
เราใช้ทองคำคุณภาพสูงในการทำตัวสะท้อนแสง เพราะทองคำมีความสามารถในการสะท้อนแสงอินฟราเรดได้ดีกว่าอลูมิเนียมหรือเหล็กที่ขัดเงา ทองคำสามารถจับแสงทั้งแบบคลื่นยาวและคลื่นสั้นได้ดี และส่งกลับมาที่เวเฟอร์ได้อย่างมีประสิทธิภาพ
ด้วยวิธีนี้ พลังงานจะไม่รั่วไหลไปที่ส่วนอื่นของเครื่อง แต่จะถูกรวมกันที่จุดที่ต้องการ ทำให้มีการถ่ายเทความร้อนที่มีประสิทธิภาพมากขึ้น และที่ดีที่สุดก็คือ คุณสามารถใช้พลังงานน้อยลงเพื่อให้ได้อุณหภูมิที่ต้องการ
แต่ก็ไม่สามารถเพิ่มพลังงานได้มากเกินไป เพราะเมื่อมีการรวมพลังงานเข้าด้วยกัน ความหนาแน่นของความร้อนที่จุดนั้นจะสูงมาก หากตั้งค่าให้มีความร้อนสูงสุด ความเร็วในการอบแห้งเวเฟอร์ก็ต้องเพิ่มขึ้นด้วย หากสายพานลำเลียงหยุดทำงานแม้เพียงวินาทีเดียว ก็อาจทำให้เวเฟอร์ร้อนเกินไปได้
นอกจากนี้ เรายังต้องปรับรูปร่างของตัวสะท้อนแสงให้เหมาะสมด้วย เพื่อให้ความร้อนกระจายตัวอย่างเท่าเทียมกัน ทำให้ขอบของเวเฟอร์แห้งได้เร็วเท่ากับตรงกลาง ไม่มีจุดที่เย็นเกินไป และไม่ต้องคาดเดาอะไรอีก
สุดท้ายก็คือเรื่องค่าใช้จ่ายด้านพลังงาน ในการตรวจสอบการใช้พลังงาน ตัวเลขที่สำคัญที่สุดก็คือ “พลังงานที่ได้รับจริง” หลอดไฟอาจใช้พลังงาน 2 กิโลวัตต์ แต่ถ้าไม่มีตัวสะท้อนแสงที่ดี ก็อาจมีเพียง 40% ของพลังงานนั้นเท่านั้นที่ถูกนำมาใช้จริง
การเคลือบทองคำจะช่วยเพิ่มประสิทธิภาพในการถ่ายเทพลังงาน คุณจะใช้พลังงานน้อยลงต่อเวเฟอร์หนึ่งชิ้น ซึ่งจะช่วยลดค่าใช้จ่ายด้านพลังงานได้ นี่คือวิธีง่ายๆ ในการทำให้กระบวนการอบแห้งมีประสิทธิภาพมากขึ้น