บนพื้นโรงงาน คุณวัดค่าความคลาดเคลื่อนในการประมวลผลโฟโตเรซิสต์ในหน่วยนาโนเมตร อุณหภูมิที่คลาดเคลื่อนเพียงไม่กี่องศาในขั้นตอน soft bake หรือ hard bake ก็เพียงพอที่จะทำให้มิติที่สำคัญเปลี่ยนไปและส่งผลต่ออัตราการผลิต เราออกแบบโคมไฟอบโฟโตเรซิสต์อินฟราเรดเพื่อกำจัดความไม่แน่นอนนี้ออกไป
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค
เราใช้แหล่งกำเนิดคลื่นสั้นอินฟราเรดใกล้ (NIR) เพื่อส่งพลังงานตรงเข้าสู่ชั้นโฟโตเรซิสต์ ทำให้ความล่าช้าทางความร้อนลดลงให้น้อยที่สุด ตลอดโปรไฟล์การอบทั้งหมด คุณจะได้ความสม่ำเสมอระดับแผ่นเวเฟอร์ภายใน ±0.1°C การควบคุมแบบวงปิดช่วยรักษาความแม่นยำนี้ให้นิ่งแม้แรงดันไฟฟ้าสายส่งจะผันผวนหรืออุณหภูมิแวดล้อมเปลี่ยนแปลง
การไม่ก่อให้เกิดฝุ่นละอองเป็นข้อกำหนดพื้นฐานในห้องสะอาด Class 1–100 และโคมไฟเหล่านี้ให้ผลตามนั้น ความเสถียรของผลลัพธ์คงอยู่เกิน 5,000 ชั่วโมงการใช้งาน
เหตุผลที่ใช้งานได้ในกระบวนการลิโธกราฟี
Soft bake มีหน้าที่ขับไล่ตัวทำละลายให้เหลือในระดับที่เหมาะสม ส่วน hard bake จะทำให้ลวดลายติดแน่น การทำขั้นตอนความร้อนเหล่านี้ซ้ำได้อย่างแม่นยำจะทำให้ควบคุมกระบวนการได้จริง
คุณจะเห็นการควบคุมความกว้างเส้นที่เข้มงวดขึ้น ลดข้อบกพร่อง และเวลาวงจรที่เชื่อถือได้ การเร่งอุณหภูมิและการทำความเย็นอย่างรวดเร็วช่วยลดการใช้พลังงานเมื่อเทียบกับฮอตเพลตรูปแบบเดิม จึงลดต้นทุนการดำเนินงานโดยไม่ลดทอนความเร็วการผลิต
สิ่งที่ต้องทราบตั้งแต่ต้น
โคมไฟเหล่านี้สามารถติดตั้งลงในสายพานลำเลียงและเครื่องเคลือบที่มีอยู่ได้ทันที แต่ต้องมีแหล่งจ่ายไฟที่สะอาดและเฉพาะเจาะจงเพื่อรักษาความเสถียรของสเปกตรัมให้อยู่ในระดับที่กำหนด
ระยะห่างระหว่างแหล่งกำเนิดกับแผ่นเวเฟอร์ต้องตั้งค่าอย่างแม่นยำ ความคลาดเคลื่อนใดๆ จะทำให้แผนงบประมาณความร้อนและความสม่ำเสมอผิดเพี้ยน ควรคาดหวังเวลาการติดตั้งสั้นๆ เพื่อปรับโปรไฟล์ให้เหมาะกับเคมีโฟโตเรซิสต์เฉพาะของคุณ เมื่อตั้งค่าได้แล้ว กระบวนการจะถูกล็อกอย่างมั่นคง