ในห้องผลิตชิป การทำให้แผ่นวีเซอร์มีความบางลงจะช่วยเปิดเผยโครงสร้างภายในของชิปได้ และเรื่องอุณหภูมิก็ไม่ใช่สิ่งที่สามารถเจรจาเปลี่ยนแปลงได้ ความสมบูรณ์ของฟอโตเรซิสต์ ความเครียดจากออกไซด์ และการบิดเบี้ยวของแผ่นวีเซอร์ ล้วนขึ้นอยู่กับการควบคุมอุณหภูมิทั้งสิ้น แม้แต่การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียงครึ่งองศา ก็อาจส่งผลให้เกิดความเครียดในแผ่นวีเซอร์ และทำให้ชิปทั้งชุด 300 มม. เสียหายได้ เราจึงออกแบบระบบการให้ความร้อนด้วยอินฟราเรดขึ้นมา เพื่อรักษาอุณหภูมิให้คงที่ตลอดกระบวนการผลิต
อินฟราเรดจะให้ความร้อนโดยตรงกับแผ่นวีเซอร์และฐานรอง ชุดอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้นของเราจะส่งพลังงานไปยังตำแหน่งที่จำเป็น โดยมีความสม่ำเสมอของอุณหภูมิในบริเวณที่ใช้งานอยู่ที่ ±0.1°C อัตราการเพิ่มอุณหภูมิสามารถสูงถึง 10°C/วินาที ดังนั้นจึงสามารถลดเวลาการให้ความร้อนได้ โดยไม่มีผลกระทบต่อคุณภาพของชิป
ระบบนี้ถูกออกแบบมาให้เข้ากันได้กับห้องผลิตชิประดับ 1–100 โดยใช้วัสดุที่มีการปล่อยก๊าซน้อย หน้าต่างควอตซ์ที่มีการปิดผนึกอย่างดี และระบบไหลเวียนอากาศแบบแนวตั้ง เพื่อรักษาปริมาณอนุภาคให้อยู่ในระดับต่ำ โดยมีการตรวจสอบปริมาณอนุภาคแบบเรียลไทม์ โดยมีปริมาณอนุภาคไม่เกิน 0.3 อนุภาค/ตารางเซนติเมตร
เมื่อทำให้แผ่นวีเซอร์มีความบางลง ความร้อนจะถูกส่งไปยังแผ่นวีเซอร์โดยตรง ซึ่งจะช่วยรักษาโครงสร้างของฟอโตเรซิสต์ ลดปัญหาการเกิดตะกอนที่ขอบแผ่นวีเซอร์ และรักษาขนาดของชิปให้อยู่ในเกณฑ์ที่กำหนด ทำให้ได้ความแม่นยำในการควบคุมความหนาของแผ่นวีเซอร์มากขึ้น ลดปริมาณชิปที่เสียหาย และทำให้กระบวนการให้ความร้อนมีความแม่นยำมากขึ้นในแต่ละชุดชิป
การใช้พลังงานจะลดลง เนื่องจากเครื่องให้ความร้อนสามารถส่งพลังงานไปยังแผ่นวีเซอร์โดยตรง โดยไม่มีการใช้พลังงานส่วนเกิน โมดูลเหล่านี้สามารถทำงานได้ตลอด 24 ชั่วโมง โดยไม่มีการหยุดทำงานโดยไม่ได้กำหนดไว้ โดยมีอายุการใช้งานมากกว่า 10,000 ชั่วโมง
การติดตั้งนั้นทำได้ง่าย แต่จำเป็นต้องมีการปรับแต่งระบบให้เหมาะสม ระบบนี้ต้องมีสายไฟควบคุมแรงดัน 24 โวลต์ อากาศที่สะอาดและแห้งที่มีความดัน 0.4 MPa และห้องปฏิบัติการที่มีหน้าต่างควอตซ์ที่เหมาะสมกับเครื่องจักรที่ใช้ การปรับแต่งระบบให้เหมาะสมจะใช้เวลาประมาณสองวัน รวมถึงการปรับค่าความสามารถในการแผ่รังสีของแต่ละชั้นของแผ่นวีเซอร์ด้วย
ควรคำนึงถึงปัญหาเรื่องเงาทางอุณหภูมิในบริเวณขอบของแผ่นวีเซอร์ด้วย เรามีวิธีการกำหนดเงื่อนไขที่ปลอดภัยสำหรับบริเวณดังกล่าวให้ด้วย