Neden yarı iletkenlerde sıcak hava yerine vakumlu kızılötesi ısıtıcıları kullanıyoruz?
Eğer yarı iletkenlerin işlenme sürecini hızlandırmaya çalışıyorsanız, odanın ısınmasını beklemenin ne kadar zaman alıcı bir iş olduğunu muhtemelen biliyorsunuzdur.
Uzun süre boyunca zorla ısıtma yöntemlerinden yararlandık. Ancak burada sorun şu: Waferin ısısını hissetmesi için tüm odayı – gazları, duvarları, her şeyi – öncelikle ısıtmanız gerekiyor. Bu oldukça yavaş ve verimsiz bir yöntemdir.
İşte bu yüzden vakumlu kızılötesi ısıtıcılara yöneliyoruz. Kızılötesi ısıtıcılar, parçanın etrafındaki “havayı” ısıtmak yerine enerjiyi doğrudan substrata gönderir. Aracı olmaz.
Zaman çok önemli.
Sıcak hava sistemlerinde rahatsız edici bir termal gecikme vardır. Sıcaklığı yükseltmek için uzun zaman harcarsınız ve ardından da sıcaklığın tekrar düşmesini beklersiniz. Kızılötesi ısıtıcılarla bu gecikme neredeyse ortadan kalkar. Enerji anında ulaşır. Böylece işlem sürelerini dakikalardan saniyalara indirebilirsiniz. Yüksek hacimli üretimlerde bu tasarruf, bir günde ne kadar iş yapabileceğiniz konusunda büyük bir artış sağlar.
Vakumun etkisi
Vakum ortamına geçildiğinde durum değişir. Artık ısıyı taşımak için havaya güvenemezsiniz. Her şey radyasyon ve iletkenlik yoluyla gerçekleşir.
Kızılötesi lambalarımızı, filamentlerin zarar görmemesi için yüksek güçleri kaldırabilecek şekilde tasarlıyoruz. Böylece wafer üzerinde çok hassas bir ısı profili elde edilir. Ancak dikkatli olmak gerekiyor. Eğer odanın duvarları uygun şekilde korunmazsa veya soğutma sistemleri yetersiz kalırsa, yansıyan ısı contalara ve sensörlere zarar verebilir. Bunu planlamazsanız sorunlar ortaya çıkabilir.
Ters tarafı
Şunu unutmayın: Sadece bir fanı lamba ile değiştirerek işi halledemezsiniz. PID ayarlarınızı da değiştirmeniz gerekecek. Kızılötesi ısıtıcılar çok hızlı tepki verdiğinden, eğer kontrol cihazınız hala yavaş hava sistemleri için ayarlanmışsa, hedef sıcaklığın üzerine çıkmanız kolay olur. Aslında bir fanın ve kanalların basitliğini, lamba dizilerinin hassasiyetiyle değiştiriyorsunuz. Bu, tüm alanı ısıtmaktan ziyade belirli bir noktaya enerji göndermek anlamına gelir. Biraz daha fazla ayar gerektirir, ancak hız açısından bu değerlidir.