Üretim alanında, waferin inceltilmesi sayesinde yonga ortaya çıkar ve termal kontrol konusu pazarlık konusu değildir. Fotoresistin bütünlüğü, oksit stresi, eğilme gibi faktörler hepsi sıcaklık kontrolüyle ilgilidir. Yarım derecelik bir değişiklik bile filmde stres oluşturarak delaminasyona neden olabilir ve tüm 300 mm’lik ürünleri boşa çıkarabilir. Bu yüzden termal profili her döngüde sabit tutmak için kızılötesi ısıtma platformu kullanıyoruz.
Kızılötesi ısıtma, doğrudan ince filmlere ve substrata etki eder. Kısa dalga boyundaki NIR dizileri, enerjiyi gerekli olan yere yönlendirir ve aktif bölgede sıcaklık homojenliği ±0.1°C civarındadır. Sıcaklık artış hızı 10°C/s’yi aşar; bu sayede yumuşak ve sert pişirme işlemleri sorunsuz olarak gerçekleştirilebilir.
Temiz oda sınıfı 1–100 ile uyumluluk, tasarımda önceden planlanmıştır: Düşük gaz salınımı yapan malzemeler, mühürlü kuvars pencereler ve laminar hava akışı sistemi, parçacık sayısını düşük seviyede tutar. Parçacık üretimi sadece vaat edilmekle kalmaz, aynı zamanda yerinde izleme sistemleri sayesinde parçacık sayısı 0.3 parça/cm²’nin altında tutulur.
Wafer inceltme işlemi sırasında ısı wafterın içine girer, taşıyıcıya değil. Bu sayede fotoresist profilinin korunması sağlanır, kenar bölgelerindeki sorunlar en aza indirilir ve kritik boyutlar standartlarda kalır. Böylece daha yüksek tekrarlanabilirlik elde edilir, atık miktarı azalır ve farklı partiler arasında tutarlı sonuçlar elde edilir.
Isıtıcı doğrudan filme temas ettiği için enerji tüketimi azalır; ekipmanlarda ekstra ısı oluşmaz. Modüller 7/24 çalışır ve planlanmamış arızalar olmaz. MTBF değerleri ise 10.000 saatin üzerindedir.
Montajı oldukça basittir, ancak entegrasyon zorunludur. Sistem için özel bir 24 V kontrol hattı, 0.4 MPa basınçta temiz ve kuru hava gereklidir. Ayrıca, kullanılan işlem odasının kuvars pencerelere sahip olması gerekir. Entegrasyon süreci, her film katmanı için emisivite tablolarının ayarlanması da dahil olmak üzere yaklaşık iki gün sürer.
Kenar bölgelerindeki termal gölgelenme durumlarına karşı önlem alınmalıdır. Güvenli sınırların belirlenmesi için gerekli protokolleri sağlıyoruz.