Як підтримувати чистоту у приміщенні класу 100
Коли ви працюєте у приміщенні класу 100 чи у вакуумній камері, найбільшою проблемою є витік газів з поверхні обладнання. Більшість стандартних елементів нагріву є справжньою проблемою у таких умовах – під час нагрівання вони починають виділяти леткі органічні сполуки чи утворювати дрібні частинки. Якщо ви працюєте з пластинами чи оптичними покриттями високої чистоти, це призведе до катастрофи – одна-єдина мікроскопічна частинка може зробити всю партію непридатною для використання.
Щоб уникнути цього, ми використовуємо інфрачервоні лампи з синтетичного кварцу високої чистоти. Вони спеціально розроблені для використання у вакуумних умовах, тож вам не доведеться турбуватися про можливе забруднення.
Чому ми вибираємо кварц високої чистоти?
Ми використовуємо силікат кремнію з майже нульовою кількістю домішок. Мета полягає у тому, щоб запобігти утворенню частинок ще на початковому етапі. На відміну від звичайного скла, цей матеріал не руйнується та не виділяє газів під час нагрівання. Крім того, ці лампи використовують короткохвильове інфрачервоне випромінювання – енергія потрапляє безпосередньо на об’єкт обробки. Це дозволяє уникнути непотрібного нагрівання решти приміщення, що допомагає підтримувати стабільну температуру.
Проблема: герметизація
Найчастіше проблеми виникають саме на місці з’єднання лампи з вакуумним кріпленням. Саме тут відбувається найбільше пошкоджень. Тож ми не експериментуємо з з’єднувачами – ми використовуємо спеціалізовані електроди та герметики, які можуть витримувати високий рівень вакууму. Не можна просто взяти будь-який з’єднувач з полиці – матеріали повинні витримувати постійне нагрівання та охолодження без появи тріщин чи вилучення частинок.
Ми можемо налаштувати потужність та напругу відповідно до розміру вашої камери. Пам’ятайте, що хоча вища потужність забезпечує більшу температуру, вам потрібно переконатися, що вакуумні насоси зможуть справлятися з цим навантаженням. Не потрібно, щоб стінки камери надто нагрівалися.
Кілька порад
Кварц високої чистоти є чудовим матеріалом, але він крихкий. Він може витримувати екстремальні температури, але не любить ударів. Якщо ви впустите лампу чи будете надмірно сильно тиснути під час кріплення, це може призвести до тріщин. У вакуумі навіть найменша тріщина може призвести до негайної втрати тиску.
Остання порада: завжди носіть рукавиці. Це здається простим, але жир шкіри залишає сліди на кварці. Ці сліди створюють „точки нагріву“, які при вмиканні лампи призводять до її передчасного зношування. Будьте обережні – тоді лампа прослужить довго.