Під час процесу тонкого нанесення шару на пластину стає можливим видимість самої деталі. Однак температурний режим є фактором, який не підлягає коригуванню. Цілісність фотополімерного шару, напруга в оксидному шарі, деформація – усе це залежить від контролю температури. Навіть незначна зміна температури може призвести до деформації шару, що, у свою чергу, може зруйнувати всю партію продукції розміром 300 мм. Ми розробили інфрачервону систему опалення, яка дозволяє підтримувати стабільний температурний режим протягом кожного циклу обробки.
Інфрачервоне опалення передає енергію безпосередньо в тонкі шари та основу пластини. Наші пристрої для випромінювання коротких хвиль забезпечують рівномірне розподілення енергії по всій поверхні пластини з точністю до ±0,1°C. Швидкість зміни температури перевищує 10°C/секунду, що дозволяє ефективно проводити процеси нагрівання без зайвих навантажень на матеріал.
Система розроблена з урахуванням вимог класу чистоти 1–100: використовуються матеріали з низьким рівнем випаровування, герметичні кварцові вікна та системи ламінарного потоку повітря, що дозволяють підтримувати низьку кількість частинок у повітрі. Кількість частинок контролюється в реальному часі, і вона залишається на рівні менше 0,3 частинок/см².
Під час процесу тонкого нанесення шару тепло передається безпосередньо в пластину, а не в носій. Це дозволяє зберегти структуру фотополімерного шару, зменшити деформації на краях та забезпечити точність критичних розмірів. Це також сприяє більш точному контролю товщини шару, зменшенню кількості відходів та стабільній роботі процесу від однієї партії до іншої.
Витрати енергії зменшуються, оскільки нагрівач працює безпосередньо з шаром, без будь-яких додаткових навантажень. Модулі працюють 24/7 без перерв, а їх середній термін служби перевищує 10 000 годин.
Встановлення системи є простим, але її інтеграція є обов’язковою. Система потребує окремої лінії керування на 24 В, чистого сухого повітря при тиску 0,4 МПа та процесної камери з кварцовими вікнами, яка буде підходити для вашого обладнання. Час інтеграції становить приблизно два дні, включаючи калібрування таблиць емісії для кожного шару.
Необхідно враховувати можливість теплового впливу в зонах, які не підлягають обробці. Ми надаємо протоколи для визначення безпечних умов роботи.