فیبرک فلور پر، آپ جلد ہی سیکھ جاتے ہیں کہ 0.3°C کا بھی فرق، ویفر کی سطح پر تغیرات پیدا کر سکتا ہے؛ اور اگر حرارت کی سطح کناروں پر زیادہ ہو تو، اس سے ویفر کی کوالٹی متاثر ہوتی ہے۔ ویفرز، حرارتی عدم یکسانیت کو برداشت نہیں کرتے۔
تکنیکی لحاظ سے اہم باتیں:
ہم نے NIR اوون کے ہیٹنگ عناصر کو کوارٹز سے بنے ہالوجن ایمیٹرز کے ساتھ تیار کیا ہے۔ مقصد، ویفر کی سطح پر مائکرومیٹر کی سطح پر یکسانیت قائم کرنا ہے، تاکہ ہر بار ایک ہی نتیجہ حاصل ہو۔ حرارتی پروفائل کو ±0.1°C کے اندر رکھا گیا ہے، تاکہ جدید فوٹوریزسٹ ٹیکنالوجی کے استعمال میں کوئی مشکل نہ ہو۔ کلین روم کے مطابق مواد استعمال کیے گئے ہیں، تاکہ ویفر پر کوئی آلودگی نہ رہے۔
یہاں یہ نظام کیوں کام کرتا ہے؟
لیتھوگرافی کے عمل میں، اس درستگی کی وجہ سے، حلینٹس ہمیشہ ایک ہی طرح سے خارج ہوتے ہیں، اور پولیمر بھی ہر بار ایک ہی طرح سے بہتا ہے۔ اس طرح، ویفر کی سطح پر یکسانیت برقرار رہتی ہے، اور ڈویلپمنٹ کے بعد دوبارہ کام کرنے کی ضرورت نہیں پڑتی۔
یہ نظام 24/7 کام کرتا ہے، اور اس کی کارکردگی مستحکم رہتی ہے۔ ہمارے پاس ایسے آلات بھی ہیں جو 5,000 گھنٹوں سے زیادہ کام کر چکے ہیں، اور اب بھی ان کی کارکردگی مستحکم ہے۔ توانائی کی کھپت کو بھی کنٹرول کیا جاتا ہے، تاکہ کوئی غلطی نہ ہو۔
جو باتیں جاننا ضروری ہیں:
آون کی ساخت اور ہوا کے بہاؤ کا نمونہ بہت اہم ہے؛ عناصر کو ایسی جگہ رکھنا ضروری ہے جہاں حرارتی سطح ویفر کی سطح سے مطابقت رکھتی ہو۔ انسٹالیشن کے بعد، ایمیٹرز کو استعمال کرنے سے پہلے کچھ وقت درکار ہے، تاکہ کیلیبریشن درست ہو سکے۔
کلاس 1–100 کلین رومز کے ساتھ مطابقت بھی ممکن ہے، لیکن ٹول کے انٹرفیس پر ایگزاسٹ وے اور مقامی ایگزاسٹ سسٹم کی جانچ ضروری ہے۔ اس طرح، کوئی غیرضروری گیس باہر نہیں نکل پاتی۔