Hãy ngừng việc sưởi ấm toàn bộ thiết bị, và thay vào đó hãy tập trung năng lượng vào việc làm nóng các tấm wafer. Bạn có bao giờ nhận thấy rằng một số thiết bị dùng để xử lý chất bán dẫn hoạt động giống như những chiếc máy sưởi không? Hầu hết các loại máy sưởi thông thường đều kém hiệu quả; chúng phát ra nhiệt lượng khắp nơi, khiến cả buồng xử lý đều bị nóng lên. Vấn đề là bạn không cần phải làm nóng cả căn phòng, mà chỉ cần làm nóng các tấm wafer thôi. Nếu các bức tường bên trong của thiết bị trở nên quá nóng, có thể gây nguy hiểm cho người vận hành hoặc làm hỏng các bộ phận của thiết bị.
Chúng tôi nghĩ rằng có cách tốt hơn. Thay vì làm nóng toàn bộ không gian, chúng tôi sử dụng công nghệ tia hồng ngoại có hướng. Cách này hoạt động như thế nào? Hãy tưởng tượng đó như một chiếc đèn pin thay vì bóng đèn thông thường. Trong khi các máy sưởi thông thường chỉ thổi không khí nóng ra xung quanh, thì các đèn hồng ngoại lại phát ra bức xạ điện từ theo đường thẳng. Chúng tôi hướng ánh sáng này trực tiếp vào bề mặt tấm wafer. Tấm wafer sẽ hấp thụ năng lượng này, trong khi không khí xung quanh và vỏ máy vẫn giữ được nhiệt độ ổn định. Kết quả là tấm wafer đạt được nhiệt độ cần thiết, trong khi bên ngoài máy vẫn mát mẻ. Điều này giúp ích rất nhiều cho những người làm việc trực tiếp trên máy.
Tuy nhiên, cũng có một số khó khăn. Để đạt được mật độ nhiệt cần thiết cho các tấm wafer, chúng tôi sử dụng các đèn thạch anh tia ngắn. Nhưng vì năng lượng được tập trung cao, nên việc điều chỉnh vị trí đèn phải rất chính xác. Nếu sai lệch vài milimét thôi, nhiệt độ trên bề mặt tấm wafer sẽ không đồng đều. Đây là một yêu cầu khó, nhưng nó rất quan trọng.
Chúng tôi cũng sử dụng các bộ điều khiển có độ chính xác cao để đảm bảo nhiệt độ không vượt quá mức cho phép. Lưu ý rằng các ống thạch anh này rất dễ vỡ. Nếu các braket treo đèn gây áp lực quá lớn lên ống thạch anh, chúng có thể bị vỡ trong quá trình sử dụng. Bạn cần phải cẩn thận khi sử dụng chúng.
Việc này giúp giảm bớt gánh nặng cho các thiết bị điều hòa không khí và hệ thống làm mát. Hơn nữa, các nhân viên vận hành cũng không còn phải đứng gần những bức tường phát ra nhiệt nữa. Đối với các kỹ sư muốn kiểm soát tốt hơn nhiệt độ trong phòng sạch, đây quả là một giải pháp hiệu quả.