Trên sàn sản xuất, wafer SiC không cho phép bạn có sai số về nhiệt độ. Chênh lệch 2°C trong quá trình nung photoresist đã đủ làm lệch vị trí phủ lớp, và một cấu hình đèn không chuẩn sẽ làm hỏng toàn bộ lô. Chúng tôi thiết kế đèn sưởi xử lý wafer SiC để hoạt động trong điều kiện này.
Điều quan trọng về mặt kỹ thuật
Chúng tôi sử dụng đèn halogen phát hồng ngoại sóng ngắn trong vỏ thạch anh, được điều chỉnh phù hợp với độ hấp thụ của SiC để wafer nóng nhanh và duy trì ổn định. Trên vùng nung, độ đồng đều ở mức wafer được giữ trong khoảng ±0.1°C, và độ lặp lại giữa các chu trình đạt ±0.5°C. Hệ thống đáp ứng yêu cầu phòng sạch: vật liệu đạt chuẩn Class 1–100, không sinh hạt trong quá trình gia nhiệt tuần hoàn, và thiết kế ít thoát khí giúp ngăn ngừa nhiễm bẩn trong buồng. Bạn đạt được tốc độ tăng nhiệt nhanh mà không vượt giới hạn nhiệt, và hệ thống được thiết kế vận hành liên tục 24/7 với độ tin cậy đảm bảo không có thời gian chết ngoài kế hoạch.
Lý do ứng dụng trong công nghệ photolithography
Trong quá trình track, đèn này cung cấp các cấu hình nung soft bake và hard bake ổn định trên SiC, giúp duy trì kiểm soát kích thước quan trọng và tỷ lệ sản phẩm đạt. Độ đồng đều nhiệt chặt chẽ giảm thiểu hiện tượng mép bead và lỗi trên lớp resist, đồng thời nhiệt độ nung lặp lại giúp giảm công đoạn làm lại và cải thiện khả năng kiểm soát quy trình theo đường nhìn thẳng. Việc truyền nhiệt hồng ngoại hiệu quả và kiểm soát thời gian lưu giữ chính xác giúp giảm mức tiêu thụ năng lượng. Khoảng thời gian bảo trì cũng được kéo dài nhờ tuổi thọ của emitter và thiết kế mô-đun.
Những điểm cần đảm bảo đúng
Việc lắp đặt chủ yếu là khớp diện tích đèn và giao diện với công cụ track của bạn, sau đó xác nhận thông số điện áp và đầu nối phù hợp với nguồn trong tủ. Đèn duy trì trong giới hạn khi áp suất buồng và lưu lượng khí nằm trong phạm vi định sẵn; nếu vượt ra khỏi giới hạn này, bạn sẽ thấy độ đồng đều và tốc độ tăng nhiệt giảm. Thiết lập cùng đội bảo trì ngay từ đầu, đồng thời chuẩn bị công thức nung, điểm đặt nhiệt độ và logic liên khóa trước khi chạy sản phẩm.