Hãy ngừng chờ đợi trong quá trình rửa và sấy wafer đi: IR so với không khí nóng
Nếu bạn từng làm việc trong các xưởng sản xuất linh kiện bán dẫn, bạn chắc hẳn biết rằng giai đoạn rửa wafer thường là giai đoạn khiến mọi thứ trở nên chậm lại. Đó chính là “nút thắt” trong quy trình sản xuất.
Nhiều người vẫn sử dụng phương pháp sưởi bằng không khí nóng. Vấn đề là phương pháp này chỉ dựa trên nguyên lý đối lưu nhiệt. Bạn cần làm nóng không khí trước, sau đó chờ cho buồng sưởi ấm lên, rồi mới bắt đầu làm nóng wafer. Đó là một quy trình chậm chạp. Có vẻ như bạn chỉ đang lãng phí thời gian mà thôi.
Đây chính là ưu điểm của phương pháp sưởi bằng tia hồng ngoại (IR):
Phương pháp này hoàn toàn thay đổi thời gian cần thiết để làm nóng wafer. Thay vì làm nóng toàn bộ buồng, các đèn IR phát ra bức xạ điện từ trực tiếp lên bề mặt wafer. Như vậy, bạn không cần phải chờ đợi nữa. Không còn hiện tượng “chờ đợi để buồng sưởi ấm”. Điều này giúp giảm thời gian chờ đợi của wafer. Bạn có thể xử lý nhiều wafer hơn mỗi giờ mà không cần mở rộng diện tích sản xuất. Đó là một lợi ích lớn cho quy trình sản xuất của bạn.
Nhưng bạn không thể đơn giản đặt một chiếc đèn thông thường vào khu vực ẩm ướt được.
Nước và các thành phần điện tử không thể tồn tại cùng nhau. Độ ẩm hoặc nước bắn vào có thể phá hủy các linh kiện điện tử ngay lập tức. Đó là lý do tại sao chúng ta sử dụng những chiếc đèn có lớp chống thấm nước và lớp phủ chống ẩm. Điều này giúp nguồn nhiệt được tập trung ngay tại vị trí cần thiết – gần wafer.
Lưu ý: Vì những chiếc đèn này phát ra nhiệt rất nhanh, bạn cần chú ý đến bộ điều khiển nhiệt độ. Nếu không điều chỉnh đúng cách, nhiệt độ có thể vượt quá mức cho phép, khiến wafer bị biến dạng. Đây là công nghệ mạnh mẽ, vì vậy độ chính xác rất quan trọng.
Cách chuyển đổi
Đối với hầu hết các lò sưởi kiểu đối lưu cũ, việc chuyển sang sử dụng đèn IR chống thấm nước khá đơn giản. Bạn sẽ có tốc độ làm nóng nhanh hơn và diện tích sử dụng ít hơn.
Một mẹo trước khi bắt đầu: Hãy kiểm tra nguồn điện của mình. Các đèn IR yêu cầu mức công suất cao hơn so với các bộ phận sưởi thông thường. Hãy đảm bảo rằng hệ thống dây điện của bạn có thể chịu được mức công suất cao này; nếu không, bạn sẽ gặp vấn đề với công tắc ngắt điện ngay khi bật đèn.