SiC晶圆加工加热灯

在晶圆制造车间，SiC晶圆对温度控制没有任何容错空间。光刻胶烘烤过程中温度波动2°C 就可能导致叠层偏差，而灯光曲线不均匀则足以报废整批晶圆。我们设计的SiC晶圆处理加热灯正是在这样的工况下运行。 技术要点 我们采用短波红外卤素发射器，封装在石英管中，经过调谐以匹配SiC的吸收特性，使晶圆加热迅速...