工厂干燥系统的能源审计

阻止晶圆干燥过程中的热量流失 在工厂中干燥晶圆时，需要做到精准控制。必须尽快去除晶圆表面的水分，但若使用过高的温度，就有可能对晶圆造成损伤。 我们通常使用红外线发射器来实现这一目的。不过，标准石英灯存在很大的浪费问题：大部分热量会向各个方向散射，最终照射在机器的墙壁上，而不是晶圆上。这就好比试图在...