阻止晶圆干燥过程中的热量流失 在工厂中干燥晶圆时，需要做到精准控制。必须尽快去除晶圆表面的水分，但若使用过高的温度，就有可能对晶圆造成损伤。 我们通常使用红外线发射器来实现这一目的。不过，标准石英灯存在很大的浪费问题：大部分热量会向各个方向散射，最终照射在机器的墙壁上，而不是晶圆上。这就好比试图在...

在芯片制造车间里，只要有一块晶圆在烘焙过程中不符合规格，那整批产品就都得被报废。温度均匀性、洁净室中的颗粒数量以及工艺的重复性，这些都不是用来制作演示文稿时的参考指标——它们才是决定产品能否合格的关键因素。我们设计的这种晶圆干燥灯泡，能够在理想的温度范围内对光刻胶进行软化处理和固化处理，而无需牺牲...