真空室红外加热器

为什么我们在半导体制造中放弃热风加热，转而使用真空红外线加热器？ 如果你希望加快半导体的深度加工速度，那么你肯定知道，等待反应室升温的过程极其耗时。 长期以来，我们一直依赖强制热风来加热。但问题在于：在晶圆真正感受到热量之前，必须先让整个反应室内的空气、墙壁等所有物体都升温。这种方式效率极低。 因...