半导体洁净室推车式加热器

保护洁净室中的加热元件及晶圆完好无损 在洁净室里，哪怕是微小的电弧或电流泄漏，都可能造成严重后果。它可能会瞬间毁掉整批晶圆。因此，我们设计的加热元件必须具备良好的热稳定性，同时不会影响周围其他设备的电气性能。 为什么我们要对每一个加热管进行测试？ 有些工厂只对每十个产品中的一个进行抽样检测，希望以...