用于半导体加热器的热电偶

在制造车间里，如果烘烤温度出现0.5°C的偏差，就可能导致芯片的尺寸出现误差，进而使大量芯片变成废品。在半导体制造过程中，对温度的控制要求极为严格。光阻层的软化处理和固化处理都需要精确控制温度，且每个工位的温度设定都必须保持一致。为此，我们特意设计了这种热电偶。 关键点在于： 我们使用的热电偶为K...