用于光刻机的石英玻璃防护罩

问题：如何保持热源的清洁？ 想象一下：你身处100级洁净室中。在这种环境中，哪怕有一滴灰尘，都可能毁掉一切。因此，该房间内的每一个部件都必须经过反复检查，确保不会产生任何颗粒物。 普通的加热元件根本无法满足这样的要求。随着时间的推移，它们会失效，进而释放出污染物。这显然是不可接受的。因此，我们专门...