晶圆制造生产线设备

在芯片制造车间里，温度并非只是一个设定值，而是一个至关重要的限制条件。在光刻胶软烘过程中，哪怕温度偏差只有半摄氏度，都可能使关键尺寸偏离标准范围，从而导致大量产品报废。正因如此，我们设计的红外加热模块能够满足光刻及光刻胶处理过程对温度控制的高要求：实现精确的温度控制，不容有任何误差。 从技术层面来...