洁净室设备升级中
在晶圆厂中减少碳排放:转向红外加热技术
说实话,半导体制造厂是能源消耗大户。洁净室里的旧设备大多仍然使用电阻式加热方式,这种方式会浪费大量电能。这实在是一种浪费。因此,越来越多的工厂开始采用短波红外加热技术。这是一种更高效、更环保的加热方式。
为什么这种技术有效
传统加热器只是试图让空气变热,从而...
晶圆制造生产线设备
在芯片制造车间里,温度并非只是一个设定值,而是一个至关重要的限制条件。在光刻胶软烘过程中,哪怕温度偏差只有半摄氏度,都可能使关键尺寸偏离标准范围,从而导致大量产品报废。正因如此,我们设计的红外加热模块能够满足光刻及光刻胶处理过程对温度控制的高要求:实现精确的温度控制,不容有任何误差。
从技术层面来...
半导体器件特性测试用加热器
在晶圆制造过程中,如果光阻烘烤时的温度偏差达到2℃,那不仅会导致芯片尺寸出现偏差,还会浪费数小时的光刻时间,使得原本可以正常使用的晶圆变成废品。性能不佳的加热器会使得温度控制变得难以把握,而每次重新校准都会影响生产效率。
我们设计的这种半导体器件测试用加热器,具备出色的温度控制能力,且结构设计符合...