量子点制造加热器

将300 mm晶圆送入光刻工位。涂布光刻胶，计时开始。你需要一个软烘烤工艺，既能蒸发溶剂，又不会让光刻胶流动；你需要一个硬烘烤工艺，既能使光刻胶交联，又不会引起滑移或应力。两者都必须稳定可靠，才能保证工艺在多批次认证中保持一致。 如果烘烤不均匀，晶圆表面会出现线宽变化。升温速率太慢，会消耗热预算并...