高能效晶圆加热器

别再为加热设备而费力了，直接给晶圆加热吧！ 您有没有注意到，有些半导体加工设备其实就像电暖器一样？ 大多数普通的电阻式加热器效率都很低。它们会将热量散布到整个腔室中，从而让整个空间都变热。但问题在于，我们实际上并不需要让整个房间变热，只需让晶圆达到合适的温度即可。如果价值百万美元的设备的内部部件因...