半导体器件特性测试用加热器

在晶圆制造过程中，如果光阻烘烤时的温度偏差达到2℃，那不仅会导致芯片尺寸出现偏差，还会浪费数小时的光刻时间，使得原本可以正常使用的晶圆变成废品。性能不佳的加热器会使得温度控制变得难以把握，而每次重新校准都会影响生产效率。 我们设计的这种半导体器件测试用加热器，具备出色的温度控制能力，且结构设计符合...