电子束电阻烘烤加热器

在光刻工艺中，电子束抗蚀剂烘烤并非一个简单的工序——它实际上决定了线条宽度的精确度。如果烘烤温度出现5°C的偏差，就会迅速影响产品的关键尺寸。在制造过程中，不能凭猜测行事，因为那样做肯定会导致不良结果。 我们设计电子束抗蚀剂烘烤加热器时，会遵循一个核心原则：其热性能必须符合标准要求，不能有任何随机...