优化碳中和晶圆加热用红外灯的安全距离

正确控制间距：红外灯的运用 在半导体制造过程中，我们使用短波红外灯来精确控制晶圆的加热温度。这是一种节省能源的好方法，尤其是对于那些希望打造更环保工厂的企业来说。不过，其实，实现高效加热的关键并不在于红外线灯本身，而在于红外线灯与晶圆之间的间距。 我将其称为“安全距离”，这个距离决定了加热效果的好...