在晶圆加工过程中 利用红外加热系统降低半导体的碳足迹

减少碳排放，同时确保精确度：关于晶圆加工中红外加热技术的真相 目前，半导体制造行业都在谈论“绿色工厂”的概念。其目标很明确：那就是减少碳足迹，但没人愿意为此牺牲生产效率。如果你想找到让晶圆加工更高效的方法，那就需要好好考虑如何为晶圆加热。从传统的电阻式加热方式转向高强度的红外灯，通常是最佳选择。...