优化碳中和晶圆加热用红外灯的安全距离
正确控制间距：红外灯的运用 在半导体制造过程中，我们使用短波红外灯来精确控制晶圆的加热温度。这是一种节省能源的好方法，尤其是对于那些希望打造更环保工厂的企业来说。不过，其实，实现高效加热的关键并不在于红外线灯本身，而在于红外线灯与晶圆之间的间距。 我将其称为“安全距离”，这个距离决定了加热效果的好...
在晶圆加工过程中 利用红外加热系统降低半导体的碳足迹
减少碳排放，同时确保精确度：关于晶圆加工中红外加热技术的真相 目前，半导体制造行业都在谈论“绿色工厂”的概念。其目标很明确：那就是减少碳足迹，但没人愿意为此牺牲生产效率。如果你想找到让晶圆加工更高效的方法，那就需要好好考虑如何为晶圆加热。从传统的电阻式加热方式转向高强度的红外灯，通常是最佳选择。...