V prostorách výroby způsobí odchylka teploty o 0,5 °C změnu kritických rozměrů a mnoho destiček se tak promění v odpad. V polovodičové výrobě se nedá moc povolit. Pro procesy zahřívání fotoresistu je potřeba nastavit konstantní hodnoty teploty – stejné pro každou destičku, stejné během každé směny. Náš termocoupl byl navržen právě pro tyto podmínky.
Co je důležité Používáme termocoupl typu K s nízkou tepelnou hmotností a obalem odolným vůči oxidaci. Reakce termocouplu je rychlá – pod 200 ms – a udržuje stálou teplotu 500 °C. Kontrolér linearizuje výstup a geometrie sondy odpovídá profilu ohřívače, takže měříme rovinu destičky, nikoliv samotný ohřívač.
Rovnoměrnost teploty na úrovni destičky je mezi ±0,1 °C, s nízkým samozahříváním a zanedbatelnou odchylkou elektromotorického napětí. Sestava je vhodná pro čisté prostory třídy 1–100, materiály a spoje neuvolňují žádné částice ani plyny.
Proč to funguje tam, kde pracujeme V modulech pro litografii a nanášení povlaků tento termocoupl uzavírá termální smyčku. Díky tomu zůstávají parametry zahřívání fotoresistu v požadovaném rozmezí, snižuje se počet oprav a zlepšuje se kontrola teploty. Výsledkem jsou menší odchylky, stabilní výsledky výroby a spolehlivost, na kterou se můžeme spolehnout.
Spotřeba energie klesá, protože ohřívač dosahuje přesně stanovené teploty – bez překročení této hodnoty. Spolehlivost termocouplu trvá desítky tisíc termálních cyklů, což znamená méně údržby a méně neplanovaných přestávek.
Detaily, které vás potrápí, pokud je ignorujete Přesnost montáže je velmi vysoká. Hrot sondy musí být přesně v určeném bodě, abychom dosáhli požadované rovnoměrnosti. Při použití starších ohřívačů je obvykle potřeba trochu upravit nastavení kontroléru – změní se tepelná hmotnost, a proto reaguje smyčka jinak.
Je nutné udržovat obal termocouplu neporušený. Pokud ho ohneme nebo nadměrně zatáhneme, dojde k odchylkám v kalibraci. Plánujte kontroly pravidelně. Dokonce i ten nejlepší termocoupl postupem času ztrácí své vlastnosti – v polovodičové výrobě s tím počítáme.