http://warm-ir-heat-tools.com/cs/tags/fotorezist/ Recent content in Fotorezist on Warm IR Heating Equipment Hugo cs Thu, 04 Jun 2026 01:12:33 +0800 http://warm-ir-heat-tools.com/cs/posts/photoresist-baking-lamp/ Thu, 04 Jun 2026 01:12:33 +0800 http://warm-ir-heat-tools.com/cs/posts/photoresist-baking-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-heat-tools.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Lampička na pečení fotorezistu"></p> <p>Na výrobní lince měříte toleranci chyb při zpracování fotoresistu v nanometrech. Odchylka o několik stupňů během soft bake nebo hard bake stačí k posunu kritických rozměrů a snížení výtěžnosti. Naše infračervené lampy pro vypalování fotoresistu jsme navrhli tak, aby tuto nejistotu odstranily.</p> <p><strong>Co je technicky důležité</strong><br> Používáme krátkovlnné infračervené (NIR) emitory, které energií přímo zasahují vrstvu fotoresistu, což minimalizuje tepelnou setrvačnost. V celém profilu vypalování dosahujete uniformity na úrovni waferu v rozmezí ±0,1 °C. Uzavřená regulační smyčka udržuje tuto přesnost stabilní i při kolísání napětí v síti nebo změnách okolní teploty.<br> Generování částic na úrovni nuly je nezbytností v čistých místnostech třídy 1–100 a tyto lampy toto splňují. Stabilita výstupu vydrží přes 5 000 hodin provozu.</p>