http://warm-ir-heat-tools.com/cs/tags/processing/ Recent content in Processing on Warm IR Heating Equipment Hugo cs Mon, 01 Jun 2026 18:06:13 +0800 http://warm-ir-heat-tools.com/cs/posts/sic-wafer-processing-heater-lamp/ Mon, 01 Jun 2026 18:06:13 +0800 http://warm-ir-heat-tools.com/cs/posts/sic-wafer-processing-heater-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-heat-tools.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Topná lampa pro zpracování SiC waferů"></p> <p>Na výrobní lince SiC destičky nedovolují žádné teplotní výkyvy. Rozdíl 2°C během pečení fotorezistu stačí k narušení přesnosti překrytí a nepřesný profil lampy může znehodnotit celou várku. Navrhli jsme naše topné lampy pro zpracování SiC destiček tak, aby fungovaly v těchto podmínkách.</p> <p><strong>Co je technicky důležité</strong><br> Používáme halogenové emitory krátkovlnného <a href="https://henruite.com">infra</a>červeného záření v křemenném obalu, laděné na absorpci SiC, aby se destička rychle zahřála a udržovala stabilní teplotu. V rámci pečící zóny držíme uniformitu teploty na úrovni destičky v rozmezí ±0,1°C a opakovatelnost z cyklu na cyklus do ±0,5°C. Chování v čistém prostředí je zabezpečeno: materiály odpovídají třídě 1–100, během tepelného cyklu nevznikají částice a nízký výdej plynů zabraňuje kontaminaci komory. Získáte rychlé nárůsty teploty bez překročení tepelného rozpočtu a systém je navržen pro nepřetržitý provoz 24/7 s profilem spolehlivosti podporujícím nulové neplánované odstávky.</p>