En la planta de fabricación, una variación de 0,5°C en la temperatura de cocción puede afectar las dimensiones críticas de los wafer, convirtiendo muchos de ellos en desechos. La calefacción en los semiconductores no permite grandes errores. Tanto el proceso de cocción suave como el duro requieren parámetros constantes, los mismos en cada posición y en cada turno. Por eso, diseñamos nuestro termopar para adaptarse a estas condiciones.
Lo que realmente importa Utilizamos un termopar de tipo K, con una unión de baja masa térmica y una cubierta resistente a la oxidación. Su tiempo de respuesta es inferior a 200 ms, y mantiene una temperatura estable de 500°C de forma continua. El controlador lineariza la salida, y la geometría de la sonda coincide con el perfil del calentador, de modo que medimos el plano del wafer, no el bloque del calentador.
La uniformidad a nivel del wafer está dentro de los ±0,1°C, con poco auto-calentamiento y una deriva electromotriz insignificante. El equipo está diseñado para ser utilizado en salas limpias de categoría 1–100. Los materiales y conexiones utilizados no liberan partículas ni gases.
Por qué funciona donde trabajamos En los módulos de litografía y de recubrimiento/cocción, este termopar permite mantener los parámetros térmicos adecuados. De esta manera, se evita la necesidad de realizar regrabaciones y se controla mejor el consumo energético. Como resultado, hay menos fluctuaciones, CD más estables y un rendimiento confiable.
El consumo de energía disminuye, ya que el calentador alcanza exactamente la temperatura deseada, sin excesos. La fiabilidad del equipo es alta, incluso después de decenas de miles de ciclos térmicos, lo que se traduce en menos mantenimientos y menos tiempos de inactividad no planificados.
Los detalles que pueden causar problemas si se ignoran La tolerancia de montaje es muy estricta. La punta de la sonda debe estar exactamente en el punto térmico designado para lograr la uniformidad deseada. Al reemplazar el calentador por uno antiguo, suele ser necesario ajustar ligeramente el controlador, ya que la masa térmica cambia y el sistema responde de manera diferente.
Es importante mantener la cubierta del termopar intacta. Si se dobla o se aplica demasiada fuerza en la conexión, la calibración se verá afectada. Es necesario realizar chequeos periódicos. Incluso los mejores termopares se deterioran con el tiempo, y en la industria de semiconductores tenemos en cuenta eso.