Calentador de fabricación de puntos cuánticos

Sun, 31 May 2026 02:48:03 +0800

Observe el wafer de 300 mm rodar hacia la celda de litografía. Aplique el fotoresistente y el reloj comienza a correr. Se requiere un horneado suave que extraiga el solvente sin provocar que el resist fluya. Se necesita un horneado duro que reticule el resist sin inducir deslizamiento ni tensión. Y se necesitan ambos, de manera consistente, para que el proceso resista lote tras lote de calificación.

Si el horneado no es uniforme, se observará variación en el ancho de línea a lo largo del campo. Si la rampa es demasiado lenta, se consume el presupuesto térmico y se altera la dimensión crítica. Si el calentador deriva, la calibración envejece hasta que las gráficas de control dejan de reflejar la realidad. En la fabricación de puntos cuánticos (QD), las pilas son delgadas, las interfaces son nítidas y la ventana térmica es estrecha. Un mal horneado puede eliminar el margen que el equipo de diseño del dispositivo consiguió con esfuerzo.

Cuántico on Warm IR Heating Equipment

Calentador de fabricación de puntos cuánticos