چرا رزولوتورهای پوشیده شده با طلا برای ویفرهای سیلیکونی اهمیت دارند؟
اگر ویفرهای سیلیکونی را گرم میکنید و بدنه دستگاه نیز گرم میشود، در واقع در حال هدر دادن پول خود هستید. این یک نقص در طراحی است. اکثر افراد از رزولوتورهای آلومینیومی استفاده میکنند، اما مشکل اینجاست که آلومینیوم انرژی بیش از حدی را جذب میکند.
به همین دلیل از طلا استفاده میکنیم. با پوشاندن رزولوتورها با طلا، مطمئن میشویم که تشعشعات مادون قرمز از لامپ به جای مناسب خود، یعنی روی ویفر، ارسال شود.
راز این موضوع در فیزیک نهفته است.
طلا، تشعشعات مادون قرمز را بهتر از فولاد یا آلومینیوم صیقلی مدیریت میکند. طلا فوتونها را جذب نمیکند، بلکه آنها را بازتاب میدهد. این کار باعث میشود گرما به طور یکنواخت در سراسر ویفر توزیع شود. دیگر نیازی نیست حدس بزنید که آیا لبههای ویفر به همان اندازه مرکز آن گرم هستند یا نه.
اما مشکل اینجاست:
وقتی که توان بالایی را در فضای کوچکی قرار میدهید، شرایط بسیار شدید میشود. اگر یک لامپ مادون قرمز با توان بالا را با رزولوتور طلا استفاده کنید، باید در مورد سیستم خنککنندهتان دقت کنید. از آنجایی که طلا در بازتاب گرما بسیار مؤثر است، هر تشعشعی که به ویفر برخورد نکند، به بدنه دستگاه برخورد خواهد کرد. اگر سیستم تهویه مناسبی نداشته باشید، ممکن است بدنه دستگاه ذوب شود یا اجزای دستگاه دچار تغییر شکل شوند. این روش خوبی برای گذراندن روزهای کاری نیست.
آیا هزینه آن ارزشش را دارد؟
طلا چیز ارزانی نیست. اگر کارهایی با دقت پایین انجام میدهید، احتمالاً استفاده از طلا اضافی است. برای رفتن به فروشگاه، نیازی به استفاده از خودروهای گرانقیمت نیست.
اما در فرآیندهای تولید نیمههادیها؟ یکنواختی دما بسیار مهم است. در این حوزه، پایداری و صرفهجویی در مصرف انرژی، هزینه استفاده از طلا را منطقی میکند.
یک نکته مهم: هر هفته محل قرارگیری لامپ را بررسی کنید. حتی کجی کوچک نیز میتواند باعث ایجاد نقاط گرم شود. این امر باعث میشود که فرآیند دوپینگ یا حکاکی روی ویفر به خوبی انجام نشود، و در نتیجه ویفرهای گرانقیمت از بین بروند.
هنگام تنظیم دستگاه، از سیمهای با دمای بالا استفاده کنید. همچنین مطمئن شوید که کنترلکننده PID دستگاه برای زمان پاسخگویی سریع تنظیم شده باشد. طلا به سرعت واکنش نشان میدهد؛ بنابراین کنترلکننده دستگاه نیز باید بتواند هماهنگی لازم را حفظ کند.