کاهش انتشار کربن و دقت بالاتر: حقیقت درباره استفاده از گرمایش مادون قرمز در ابزارهای فرآوری ویفرها در حال حاضر، همه در صنعت تولید تراشهها درباره «کارخانههای سبز» صحبت میکنند. هدف کاملاً واضح است: ما میخواهیم میزان انتشار کربن را کاهش دهیم، اما هیچ کس تمایلی به فدا کردن بازدهی ابزارها ندارد. اگر به دنبال سریعترین راه برای رسیدن به این هدف در ابزارهای فرآوری ویفرها هستید، باید به نحوه گرم کردن اجزای مختلف ابزار توجه کنید. استفاده از لامپهای مادون قرمز با توان بالا، راه بهتری برای این منظور است. دلیل آن این است که اکثر گرمکنهای معمولی، ابزارهایی ناکارآمد هستند؛ زیرا فقط کل محفظه را گرم میکنند، که این کار باعث هدررفت انرژی زیادی میشود. لامپهای مادون قرمز متفاوت هستند؛ زیرا انرژی را مستقیماً روی سطح ویفر تابانده میکنند. با تنظیم طول موج، میتوان از هدررفت انرژی در هوای اطراف و بدنه ابزار جلوگیری کرد. این روش، روشی بهتر برای کار است؛ زیرا میزان انرژی مصرفی برای هر ویفر کاهش مییابد، و این کاهش در طول زمان موثرتر خواهد بود. همچنین، سرعت نیز مهم است. فرآوری ویفرها نیازمند سرعت بالایی در گرم کردن اجزای مختلف است. با استفاده از لامپهای مادون قرمز، پاسخگویی ابزار تقریباً بلافاصله است؛ یعنی میتوانید گرمای لازم را در عرض چند میلیثانیه ایجاد کنید. در مقابل، صفحات گرمایشی فلزی دارای „تأخیر حرارتی“ هستند؛ یعنی زمان زیادی برای گرم شدن و زمان بیشتری برای سرد شدن نیاز دارند. با حذف این تأخیر، زمان فرآیند کاهش مییابد؛ در نتیجه، تعداد ویفرهایی که میتوان در هر ساعت تولید کرد، افزایش مییابد. اما باید توجه داشت که این روش ساده نیست؛ چرا که لامپهای مادون قرمز، انرژی زیادی را در فضای کوچکی ذخیره میکنند. نمیتوان آنها را به سادگی در ابزارهای قدیمی استفاده کرد. اگر محافظت لازم انجام نشود، این گرمای شدید میتواند سنسورها را خراب کند یا بدنه ابزار را تحت تأثیر قرار دهد. بنابراین، باید به سیستمهای خنککننده توجه کرد؛ اگر سیستم خنککننده کافی نباشد، الکترونیکهای ابزار خراب خواهند شد. این ابزار بسیار قدرتمند است، اما باید به گرمای تولید شده توجه کرد. در نهایت، اگر میخواهید میزان انرژی مصرفی در کارخانه خود را کاهش دهید، باید از روشهای قدیمی گرم کردن اجزای ابزار استفاده نکنید؛ زیرا این روشها بسیار ناکارآمد هستند. وقتی که آرایه لامپها را بهینه کنید و از سنسورهایی استفاده کنید که وضعیت ابزار را در زمان واقعی نشان دهند، ابزار بهتر کار خواهد کرد. این تغییر ساده، میتواند میزان انتشار CO2 برای هر تراشه تولید شده را کاهش دهد.