در خط تولید، دما صرفاً یک مقدار تنظیمشده نیست؛ بلکه یک مرز مهم برای کنترل فرآیندها است. حتی اختلاف دمایی کمتر از نیم درجه در فرآیند گرم کردن رزیست، میتواند باعث اختلال در ابعاد مورد نظر شود و منجر به از بین رفتن محصولات تولید شده شود. به همین دلیل، ما ماژولهای گرمایشی مبتنی بر امواج مادون قرمز را طوری طراحی کردهایم که بتوانند دمای مورد نیاز را به طور دقیق کنترل کنند؛ یعنی گرمایی یکنواخت، بدون هیچ اختلالی.
موارد مهم از نظر فنی:
ما از فرستندههای امواج مادون قرمز با پاسخگویی سریع و کنترل طیفی دقیق استفاده میکنیم؛ این فرستندهها، ویفر را مستقیماً گرم میکنند. نتیجه این کار، کاهش تأخیر حرارتی و کاهش تأثیرات ناشی از محیط اطراف است. یکنواختی دما در سطح ویفر، در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی میماند؛ بنابراین فرآیند گرم کردن رزیست به خوبی انجام میشود و جذب حلالها نیز کنترل میگردد. همچنین، فرآیند گرم کردن شدید، باعث ایجاد پیوندهای محکم در ساختار رزیست میشود.
سازگاری این سیستم با استانداردهای اتاقهای تمیز کلاس ۱ تا ۱۰۰ نیز در طراحی آن لحاظ شده است؛ یعنی استفاده از موادی که گاز کمی تولید میکنند، استفاده از لنزهای دربسته، و عدم تولید هیچ ذرهای در فرآیند کار. این سیستم، تحت بار کاری مداوم، پایداری حرارتی خوبی دارد؛ بنابراین میتواند ۲۴/۷ کار کند، با فواصل نگهداری مناسب.
چرا این روش در تولید مؤثر است؟
این سیستم را میتوان در فرآیندهای خشک کردن ویفر، گرم کردن اولیه رزیست، و گرم کردن پس از عکاسی استفاده کرد، بدون اینکه سرعت تولید کاهش یابد. یکنواختی دما، باعث کاهش نوسانات ابعادی رزیست و افزایش بازدهی تولید میشود. تغییر سریع دما نیز، زمان فرآیند را کاهش داده و مصرف انرژی برای هر ویفر را کم میکند؛ همچنین، الگوی حرارتی مناسب، باعث کاهش نقصهای سطحی واقع شده و نیاز به تولید مجدد کاهش مییابد.
نکاتی که باید در نظر داشته باشید:
گرمایش مبتنی بر امواج مادون قرمز، نیازمند دید مستقیم است؛ بنابراین، شکل ویفر و طراحی سیستم حمل و نقل، بر توزیع دما تأثیر میگذارد. ما یک سیستم حرارتی کارآمد را ارائه میدهیم؛ یعنی موقعیت فرستندهها، شکل بازتابندهها، و بازخورد سنسورها، به گونهای است که بتواند دمای مورد نظر را در سطوح مختلف ویفر حاصل کند.
همچنین، برای تنظیم پارامترهای فرآیند برای نوع خاصی از رزیست و سطح ویفر، نیاز به تستهای لازم وجود دارد. همچنین، از آنجایی که توان خروجی و ابعاد سیستم باید با ویژگیهای رولرها یا دستگاههای گرمایشی هماهنگ باشد، باید قبل از نصب، محدودیتهای مکانیکی و الکتریکی را بررسی کرد.