http://warm-ir-heat-tools.com/he/tags/%D7%94/ Recent content in ה on Warm IR Heating Equipment Hugo he Sat, 27 Jun 2026 01:52:16 +0800 http://warm-ir-heat-tools.com/he/posts/e-beam-resist-baking-heater/ Sat, 27 Jun 2026 01:52:16 +0800 http://warm-ir-heat-tools.com/he/posts/e-beam-resist-baking-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heat-tools.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="חיממן לאפייה עם קרן E"></p> <p>בשלב הליתוגרפיה, תהליך אפיית הרזיסט באמצעות קרן E אינו רק שלב נוסף בתהליך – הוא למעשה הגורם החשוב ביותר לשליטה ברוחב הקווים. שינוי של 5°C בטמפרטורת האפייה עלול לפגוע באופן משמעותי בדיוק המידות החיוניות. אי אפשר להסתמך על הערכות כלשהן בתהליך זה, ובוודאי שהן אינן יכולות לשרוד בייצור.</p> <p>אנו מעצבים את מערכות החימום לאפיית הרזיסט תוך התחשבות בדרישה החשובה ביותר: התנהגות תרמית שתהיה קבועה ואפשרית לחיזוי. רכיבי החימום משתמשים באינפרא-אדום באורך גל קצר כדי להעביר אנרגיה במהירות, מה שמאפשר תגובה בתוך שניות בודדות, ללא נקודות חום יתר. בכל אזור האפייה, האחידות בטמפרטורה נשמרת ברמה של ±0.1°C, כך שכל פעם יש אותו תנאי תרמי. החזריות של הטמפרטורה היא ברמה של מילי-מעלות בודדות, מה שמאפשר שמירה על דיוק המידות מדגימה לדגימה. חומרי התא והשלמת הפני השטח נבחרים כך שיאפשרו פעולה בסביבה נקייה, תוך שמירה על רמת טוהר של Class 1–100, ללא יצירת חלקיקים במהלך האפייה. המערכת נועדה לפעול 24/7, כאשר המנגנונים התרמיים מותאמים כך שלא יהיה זמן עצירה לא צפוי.</p>