कार्बन उत्सर्जन को कम करना एवं सटीकता हासिल करना – वेफर उपकरणों में आईआर हीटिंग की वास्तविकता फैक्ट्रियों में इन दिनों “हरित कारखानों” की बात हो रही है। लक्ष्य तो स्पष्ट है – कार्बन उत्सर्जन को कम करना। लेकिन कोई भी उत्पादन दर को बलिदान देने के लिए तैयार नहीं है। अगर आप अपने वेफर उपकरणों में ऐसा करने का सबसे तेज तरीका ढूँढ रहे हैं, तो आपको यह देखना होगा कि आप चीजों को कैसे गर्म कर रहे हैं। पुरानी प्रकार की रेजिस्टिव हीटिंग के बजाय उच्च-तीव्रता वाली आईआर लैंपों का उपयोग करना ही सबसे अच्छा विकल्प है। दरअसल, अधिकांश सामान्य हीटर बेकार ही हैं… वे पूरे चैंबर को ही गर्म कर देते हैं, जिससे बहुत ऊर्जा बर्बाद हो जाती है। आईआर लैंप अलग हैं… वे ऊर्जा को सीधे वेफर की सतह पर ही पहुँचाते हैं। तरंगदैर्घ्य को सिलिकॉन/कैरियर के अनुरूप समायोजित करके, आप आसपास की हवा एवं उपकरण के फ्रेम पर ऊर्जा बर्बाद करने से बच सकते हैं। यह एक बेहतर तरीका है… प्रति वेफर कम किलोवाट-घंटे ऊर्जा ही खर्च होती है, और यह बचत धीरे-धीरे बढ़ती जाती है। गति के मामले में भी आईआर लैंप बेहतर हैं… वेफर प्रसंस्करण में तेज तापमान आवश्यक है… आईआर लैंपों के उपयोग से तापमान तुरंत ही बढ़ जाता है… ऐसे में ऊर्जा की बचत होती है। भारी धातु से बने हीटिंग प्लेटों में तापमान बढ़ने/घटने में बहुत समय लगता है… ऐसे में आपका उत्पादन समय कम हो जाता है… आप हर घंटे में अधिक वेफर तैयार कर सकते हैं… और ऊर्जा भी बच जाती है। लेकिन ध्यान रखें… यह इतना आसान भी नहीं है… उच्च-घनत्व वाले आईआर लैंपों में बहुत ऊर्जा होती है… इन्हें बस किसी पुराने उपकरण में लगा देना ही पर्याप्त नहीं है… अगर उपकरण की सुरक्षा व्यवस्था ठीक न हो, तो यह ऊर्जा आपके सेंसरों को नष्ट कर सकती है… आपको अपने कूलिंग सिस्टमों पर ध्यान देना होगा… अगर कूलिंग सिस्टम ठीक न हो, तो आपके उपकरण नष्ट हो सकते हैं… यह तो एक शक्तिशाली उपकरण है… लेकिन इसकी ऊर्जा का सही उपयोग आवश्यक है। अंत में, अगर आप अपने उत्पादन में ऊर्जा खर्च को कम करना चाहते हैं, तो आपको “हीट सोक” जैसी विधियों पर निर्भर रहना बंद करना होगा… ये तो बहुत ही अकुशल विधियाँ हैं… जब आप लैंपों का सही उपयोग करें, एवं ऐसे सेंसरों का उपयोग करें जो वास्तविक समय में जानकारी दें, तो आपका उपकरण अधिक कुशल रूप से काम करेगा… यह एक सरल तरीका है… जिससे हर चिप के निर्माण में CO2 उत्सर्जन कम हो जाएगा।