Mantenere una camera pulita di classe 100 effettivamente pulita
Quando si lavora in una camera pulita di classe 100 o in una camera a vuoto, il problema principale è l’emissione di gas volatili. La maggior parte degli elementi riscaldanti standard rappresenta un vero incubo in questi ambienti: infatti, man mano che si riscaldano, iniziano a rilasciare composti organici volatili o piccolissime particelle. Se si lavora con wafer o rivestimenti ottici ad alta purezza, questo rappresenta davvero un disastro: anche una sola particella microscopica può rovinare l’intera produzione.
Per risolvere questo problema, utilizziamo lampade a infrarossi in quarzo di altissima purezza. Queste lampade sono progettate appositamente per essere utilizzate in ambienti a vuoto, quindi non c’è alcun rischio di contaminazione.
Perché scegliamo il quarzo di altissima purezza
Utilizziamo silice fusa con quasi nessuna impurità. L’obiettivo è evitare che vengano rilasciate particelle durante il processo di riscaldamento. A differenza del vetro tradizionale, questo materiale non si rompe né rilascia gas quando viene riscaldato. Inoltre, queste lampade utilizzano radiazioni infrarosse a lunghezza d’onda corta: l’energia viene trasferita direttamente sul pezzo da lavorare, senza sprechi di energia. Questo permette di mantenere sotto controllo la temperatura all’interno della camera.
Il problema più difficile: i sigilli a vuoto
Il problema principale risiede nel sigillo tra la lampada e la sede su cui viene montata. È proprio in questo punto che possono verificarsi problemi. Ecco perché non utilizziamo connettori qualsiasi: usiamo elettrodi e sigilli specializzati in grado di resistere a condizioni di vuoto estremo. I materiali devono poter sopportare ripetute variazioni di temperatura senza rompersi o rilasciare particelle.
Possiamo regolare la potenza e la tensione in base alle dimensioni specifiche della camera. Tuttavia, bisogna ricordare che una potenza maggiore garantisce una maggiore densità di calore, ma è necessario assicurarsi che le pompe a vuoto siano in grado di gestire tale carico. Altrimenti, le pareti della camera potrebbero surriscaldarsi.
Alcuni avvertimenti (Cosa non fare)
Il quarzo di altissima purezza è davvero fantastico, ma è anche fragile. Può resistere a temperature estreme, ma non tollera urti. Se si lascia cadere una lampada o se i componenti di fissaggio vengono manipolati in modo aggressivo, possono verificarsi fratture. In un ambiente a vuoto, anche una piccola crepa può causare una perdita immediata di pressione.
Un ultimo consiglio: indossate sempre i guanti. Sembra semplice, ma gli oli della pelle lasciano delle tracce sul quarzo. Queste tracce creano dei “punti caldi” quando la lampada viene accesa, e proprio questi punti caldi causano il deterioramento prematuro della lampada. Trattatela con cura, e durerà a lungo.